मुख्य प्रदर्शन र संरचना विशेषताहरू:
१. क्षेत्र घनत्व मिटर र डाइले बन्द-लूप नियन्त्रण बनाउन सक्छ।
२. आयाम पत्ता लगाउनको लागि बन्द-लूप नियन्त्रण सहितको CCD प्रणाली।
३. टेलिंगहरूमा टर्मिनेशन टेप टाँस्नुहोस्।
४. सब्सट्रेटको एउटै छेउमा दोहोरो तहको स्लरी लेपित गर्न सकिन्छ।
५. MES प्रणालीसँग मिलेर काम गर्नुहोस् र उपकरणहरूको लागि मोटो क्लाउड नियन्त्रण व्यवस्थापन गर्नुहोस्।

गुणस्तर अनुगमन र प्रतिक्रिया:
१. अनलाइन पत्ता लगाउनको लागि X/B किरणमा क्षेत्र घनत्व मिटर।
२. आयाम र त्रुटि पत्ता लगाउनको लागि CCD प्रणाली।
३.एनजी मार्क इन्कजेट प्रिन्ट।
४. ओभन भित्र इलेक्ट्रोडको सतहमा IR मार्फत तापक्रम मापन।
५. मास फ्लोमिटरले प्रवाह, चिपचिपापन र तापक्रमको लागि अनलाइन निगरानी गर्दछ।
६. क्याथोड ओभनको लागि NMP सांद्रता अनुगमन र एनोड ओभनको लागि आर्द्रता पत्ता लगाउने।